美國Nova Centrix公司在“第21屆FPD研發(fā)及制造技術(shù)展覽會(huì)暨研討會(huì)”(FINETECHJAPAN,2011年4月13~15日)上,展出了可通過印刷技術(shù)形成銅(Cu)布線的導(dǎo)電性油墨。除了在與合作伙伴日本昭和電工的共同展區(qū)中展示導(dǎo)電性油墨外,Nova Centrix還向觀眾贈(zèng)送了使用這種油墨通過印刷技術(shù)在紙上形成的Cu圖案。
導(dǎo)電性油墨是將CuO分布在溶劑里形成的水溶性油墨。Nova Centrix在展示中展出了用于絲網(wǎng)印刷的“Metalon ICI-020”,以及用于壓電式噴墨印刷的“Metalon ICI-003”。采用導(dǎo)電性油墨印刷形成CuO圖案后,通過Nova Centrix的光燒結(jié)裝置“Pulse Forge”進(jìn)行處理,由此獲得Cu圖案。據(jù)Nova Centrix介紹,關(guān)于光燒結(jié)后的Cu圖案薄膜的電阻值,Metalon ICI-020可降至60mΩ/□左右,Metalon ICI-003可降至140mΩ/□左右。光燒結(jié)處理過程中的工藝溫度較低,因此可使用紙和PET制作的基板。
用于絲網(wǎng)印刷的油墨Metalon ICI-020,CuO濃度為52.5重量%,用于噴墨印刷的Metalon ICI-003則為10重量%。